ASML近日公布了2021年第二季度财报，其中EUV极紫外光刻机收入就有49亿欧元，而总的积压订单金额已达175亿欧元。根据披露，目前ASML第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机已经交付相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20％，覆盖率（套刻精度）提高了约30％。。

ASML EUV光刻机目前还是第一代产品，EUV光源波长13.5nm左右，物镜NA数值孔径0.33，并发展了一系列型号。NXE:3400B是最早量产出厂的型号，产能为135WPH，而最新的NXE:3600D产能可以提升至160WPH

据悉，NXE:3600D价格价格达到了1.45亿美元(约合人民币9.38亿元)，不过ASML还没透露第一个交付的客户是谁。