一年只生产18台,中国订购了一台,一台纳米光刻机月产能有多大

admin 2019-6-2 2684

2018年全年,ASML生产了18台光刻机,2019年将生产30台,其中18台已经被台积电购买,我国大陆的中芯国际有1台。

ASML垄断了光刻机市场

ASML(阿斯麦)是荷兰一家非常低调的大佬级企业,主营光刻机,尤其是芯片级的EUV(极紫外光刻机),只有ASML能够生产7nm的UEV光刻机,垄断了全球80%的光刻机市场。

ASML的光刻机非常昂贵,单台售价高达1.2亿美元,关键是产量有限,需要提前预定,EUV光刻机包含了5万多个零件,从下单到正式交货,需要21个月。2017年是中芯国际成功预定一台7nm的EUV光刻机,预计今年能够成为到货。

为什么中国大陆很难购买?

我国为了能够购买一台先进的ASML光刻机,可以说是费尽周折,即便有钱也很难购买,为什么呢?

原因1:ASML独特的合作模式

ASML有一个非常奇特的规定,只有投资了ASML,才能获得优先供货权,也就是所谓的“抱团”,这种合作模式给ASML提供了大量的资金,包括英特尔、三星、台积电、海力士等在ASML中都有可观的股份,也可以说全球大半个半导体行业都是ASML的合作伙伴。这也就能够解释为什么台积电能够优先购买EUV光刻机,而且一买就是18台,而我国大陆排队两年,还没等到最新的7nm EUV光刻机。

原因2:《瓦森纳协定》禁运

《瓦森纳协定》又称为瓦森纳安排机制,由美国、日本、英国、荷兰等40个成员国,限制向某些国家出口敏感产品和技术许可,这个“安排机制”受到了美国的控制,而被禁运的名单中就包括我国大陆。如捷克拟向我国出口“无源雷达设备”时,就遭到了美国向捷克施压,被迫停止了交易。

根据瓦森纳的协定,要求满足国外和国内技术相差1.5倍,才可以解除禁运。AMSL向我国开放7nm EUV光刻机时,ASML已将在生产5nm光刻机了,我国的半导体制造工艺仍然落后一代以上。



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