据外媒11月6日报道，欧洲最大半导体设备供应商阿斯麦尔（ASML）中止了对中芯国际的极紫外（EUV）光刻机供货。

去年5月，中芯国际花1.2亿美元向ASML定购了一台EUV光刻机，原定于2019年底交付，但目前货物正在“等待后续通知”。光刻机是制造芯片的核心设备，荷兰厂商ASML是全球唯一一家顶级芯片制造设备——极紫外光（EUV）光刻机的供应商，EUV光刻机被业界认为是7nm以下制程芯片制造的必须设备。

ASML回应称，该公司向一家中国客户出口其最先进的设备之一的许可证已经到期，正在等待荷兰政府批准新的许可证。ASML发言人Monique Mols解释：“ASML只是在遵守法律，只有在拥有出口许可证的情况下才能够将EUV设备运输出去”。

根据荷兰的规定，许可证需要八周时间才能经批准或拒绝。

中芯国际对媒体回应称，公司的EUV还处于“纸面工作”阶段，尚未进行相关活动。中芯国际强调，目前，公司的先进工艺研发进展顺利，研发与生产的连接一切正常，客户与设备导入均正常运作。

相比台积电生产的7nm芯片，作为大陆最大的芯片制造企业，中芯国际目前工艺水平提升迅速，14nm已经试产，正迈向7nm和5nm。此前有报道称，中芯国际的7nm工艺将于2020年底问世。